নিম্ন চাপ ΠMFC গণ প্রবাহ নিয়ন্ত্রক - PFC-20
PFC-20, নিম্ন চাপ πMFC ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রণকারী নিরাপদ ডেলিভারি উত্স গ্যাসের সর্বাধিক ব্যবহার প্রদান করে। নিম্ন চাপ πMFC সোর্স গ্যাস সিলিন্ডার পরিবর্তন ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস দ্বারা টুল আপটাইম বৃদ্ধি করে বাস্তবায়ন। এটি কম গ্যাস সঠিক এবং সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে ...
- পণ্য পরিচিতি
সূচনা
PFC-20, নিম্ন চাপ πMFC ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রণকারী নিরাপদ ডেলিভারি উত্স গ্যাসের সর্বাধিক ব্যবহার প্রদান করে। নিম্ন চাপ πMFC সোর্স গ্যাস সিলিন্ডার পরিবর্তন ফ্রিকোয়েন্সি হ্রাস দ্বারা টুল আপটাইম বৃদ্ধি করে বাস্তবায়ন। এটি গ্যাস গ্যাসের প্রযোজ্য চাপ হিসাবে 4 টর কম হিসাবে বিস্তৃত চাপ সীমার উপর নিম্ন গ্যাস প্রবাহের সঠিক ও সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে।
এই πMFC হল এসকেএস এবং VAC ® উৎস গ্যাসের জন্য বিশেষভাবে ডিজাইন করা MKS পণ্যগুলির মধ্যে সর্বশেষ আয়ন ইমপ্লান্টেশন শিল্প। পেটেন্ট ভালভ এবং সেন্সর ডিজাইন সমস্ত দ্রুত অবস্থার জন্য সঠিক শূন্য স্থিতিশীলতা এবং সঠিকতা প্রদান করে যখন দ্রুত সেট পয়েন্ট অর্জন করার ক্ষমতা বজায় রাখা এবং পুনরাবৃত্তভাবে গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ। স্ট্যান্ডার্ড-আকারের এমএফসি পদচিহ্ন এবং নিয়ন্ত্রণ I / O সহজ ইন্টিগ্রেশন এবং অপারেশন জন্য বিদ্যমান গ্যাস লাইন সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
বৈশিষ্ট্য ও উপকারিতা
◆ বোতল পরিবর্তনগুলি হ্রাস করে এসডিএস উত্স গ্যাসের ব্যবহার বাড়ায় যা উচ্চতর টুল আপটাইম এবং কম খরচে মালিকানা
◆ পুনঃপ্রতিষ্ঠিতভাবে নিম্ন গ্যাস প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে যা স্ফট্যান্ট সোর্স অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অপ্টিমাইজ করা প্যারামিটার ব্যবহার করে কম গ্যাস ব্যবহারের অনুমতি দেয়
◆ ডিজিটাল নিয়ন্ত্রণ লুপ দ্রুততম প্রতিক্রিয়া প্রক্রিয়া চক্র সময় কমানোর পয়েন্ট সেট
◆ "কোন সমস্যা পাওয়া" হ্রাস মাধ্যমে টুল আপটাইম বৃদ্ধি: এমএফসি প্রতিস্থাপন
- এমএফএ অপসারণ ছাড়াই ব্যবহারকারীদের এমএফএফসি কার্যকারিতা পরীক্ষা করার জন্য এমবেডেড ডায়াগনস্টিকস এবং সফ্টওয়্যার অন্তর্ভুক্ত
এম্বেডেড ইথারনেট ইন্টারফেসের মাধ্যমে ই-ডায়াগনস্টিক অপারেশনের সময় কর্মক্ষমতা নিরীক্ষণের অনুমতি দেয়
◆ সবচেয়ে সাধারণ এমএফসির জন্য সরাসরি ফর্ম-ফিট-ফাংশন প্রতিস্থাপন
◆ মাল্টি-গ্যাস, বহু পরিসীমা ক্ষমতা মাধ্যমে ইনভেন্টরি খরচ হ্রাস
◆ ইথারনেট ইন্টারফেসের মাধ্যমে সহজবোধ্য কনফিগারেশন এবং ডায়গনিস্ট
- স্ট্যান্ডার্ড ওয়েব ব্রাউজার ব্যবহার করে - কোনও বিশেষ সফ্টওয়্যার দরকার নেই
- দূরবর্তী পিসি অ্যাপ্লিকেশন অন্তর্ভুক্ত
◆ উজ্জ্বল rotatable LED ডিসপ্লে প্রবাহ হার, গ্যাস টাইপ, সম্পূর্ণ স্কেল ফ্লো পরিসীমা, তাপমাত্রা এবং ইথারনেট ঠিকানা সহজ দেখার উপলব্ধ
সীমিত অঙ্কন এবং PINOUTS
স্পেসিফিকেশন
| কর্মক্ষমতা | ||
| পূর্ণ স্কেল রেঞ্জ (N 2 সমতুল্য) | ২-২0 সিসিএম | |
| ইনলেট চাপ পরিসর | 4 - 1২00 টর (আউটলেটের ভ্যাকুয়াম সহ) | |
| সাধারণ অপারেটিং চাপ ডিফারেনশিয়াল (N 2 সমমান) | <10 টর="" এফএস="" প্রবাহে="" (আউটলেটের="" ভ্যাকুয়াম=""> | |
| সর্বাধিক পরিষ্কার চাপ | 150 psig | |
| সহসা আরম্ভ চাপ | 1500 psig | |
| কন্ট্রোল রেঞ্জ | 2 থেকে 100% FS | |
| বৈশিষ্টসূচক সঠিকতা | > 10 থেকে 100% এফএস এবং এর জন্য সেট পয়েন্টের 1% FS এর 2 থেকে 10% জন্য FS 0.2% FS ইনলেট চাপ> 20 Torr | |
| repeatability | 0.2% FS | |
| সমাধান | পাঠের 0.1% | |
তাপমাত্রা কোএফিসিয়েন্ট | শূন্য | ± 0.08% FS / ডিগ্রী সি |
| বিঘত | ± 0.08% Rdg / ডিগ্রী সি | |
কন্ট্রোলার সেটলিং টাইম (আধা গাইডলাইন E17-0600 প্রতি) | <2> 10% উপরোক্ত প্রকারের ইনটেল চাপ> 10 টর | |
উষ্ণ আপ সময় (স্থিতিশীল রাষ্ট্র কর্মক্ষমতা 0.2% এর মধ্যে FS মধ্যে ) | <30> | |
| স্বাভাবিক অপারেটিং তাপমাত্রা | 10 থেকে 50 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড | |
| সংগ্রহস্থল আর্দ্রতা | 0 থেকে 95% আপেক্ষিক আর্দ্রতা, কোন ঘনীভূত | |
| সংগ্রহস্থল তাপমাত্রা | -20 থেকে 65 ° C | |
| তাপমাত্রা প্রদর্শন | 0 থেকে 100 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড | |
| তাপমাত্রা Readout ইউনিট | ° সেঃ | |
| তাপমাত্রা যথার্থতা | ± 2 ° সেঃ | |
| তাপমাত্রা রেজোলিউশন | 0.1 ° সেঃ | |
| যান্ত্রিক | ||
| জিনিসপত্র | সোয়াগেলোক ® 4 ভিসিআর ® | |
| প্রদর্শন | মান জন্য 4 সংখ্যার, একক জন্য 4 অক্ষর | |
| লিক নিখুঁত | বাহ্যিক (scc / সেকেন্ড তিনি) | <1x10> |
| বন্ধ ভালভ মাধ্যমে | <1.0% fs="" 25="" psig=""> | |
ভেজা উপকরণ মান | 316 এসএস ওয়ার (সমমানের 316 এসএসসি সমমানের মানের জন্য) 316 এসএস, এলগিলয়ে, কে এম -45, নাইটি | |
| সারফেস শেষ | 5 মাইক্রোইনচ গড় রা | |
| ওজন | কম 2 পাউন্ড (0.9 কেজি) | |
| বৈদ্যুতিক | ||
| সংযোজকগুলির | এনালগ (শক্তি ও I / O) | 9 পিন ডি পুরুষ বা 15 পিন ডি পুরুষ |
| নিদানবিদ্যা | ইথারনেট | |
| ইনপুট ভোল্টেজ | 15-24 ভিডিসি ± 5% ভিডিসি @ 350 এমএ শিখর, ২50 এমএ স্ট্যাডি স্টেট | |
| পয়েন্ট কমান্ড সিগন্যাল সেট করুন | 0 থেকে 5 ভিডিসি | |
| আউটপুট সিগন্যাল | 0 থেকে 5 ভিডিসি | |
গরম ট্যাগ: কম চাপ πmfc ভর প্রবাহ নিয়ামক - pfc-20, চীন, নির্মাতারা, সরবরাহকারী, কাস্টমাইজড, চীন মধ্যে তৈরি
