সাধারণ উদ্দেশ্য গণপ্রবাহ নিয়ন্ত্রক - MKS 1179C
1179C একটি সাধারণ উদ্দেশ্য ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক অ্যাপ্লিকেশন বিস্তৃত মধ্যে গ্যাস প্রবাহ পরিমাপ এবং নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ডিজাইন করা হয়। 1179 ভর প্রবাহ কন্ট্রোলার পূর্ণ স্কেল রেঞ্জ 10 sccm থেকে 20 slm থেকে উপলব্ধ, দ্রুত প্রদান, হিসাবে পুনরাবৃত্ত প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ হিসাবে কম হিসাবে ...
- পণ্য পরিচিতি
সূচনা
1179C একটি সাধারণ উদ্দেশ্য ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক অ্যাপ্লিকেশন বিস্তৃত মধ্যে গ্যাস প্রবাহ পরিমাপ এবং নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ডিজাইন করা হয় । 1179 ভর প্রবাহ কন্ট্রোলার 10 sccm থেকে 20 slm থেকে পূর্ণ স্কেল রেঞ্জের সাথে উপলব্ধ, দ্রুত প্রদান, হিসাবে পুনরাবৃত্ত প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ 0.2 sccm হিসাবে কম। একটি উপযুক্ত চাপ ট্রান্সডুকার সাথে সংযুক্ত যখন এটি একটি চাপ নিয়ামক হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে।
1179 সি বাজারে সবচেয়ে সাধারণ এমএফসির জন্য একটি সরাসরি ফর্ম-ফিট-ফাংশন প্রতিস্থাপন । প্রমিত 3-ইঞ্চি পদাঙ্ক বিদ্যমান গ্যাস লাইন পরিবর্তন ছাড়াও একই স্থান সরাসরি ড্রপ 1179 সি সক্ষম বৈদ্যুতিক সংযোগকারীগুলিকে একই ধরণের "ডি" সংযোগকারী, একই পিন-আউট, সংকেত এবং ফাংশনগুলি তাদের শিল্পের সমতুল্য হিসাবে, তাই কোনও ক্যাবল বা সংযোগকারী রিভারিং প্রয়োজন হয় না। 1179 সি এমএফসি বিদ্যুত সরবরাহের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং এমকেএস বা অন্য নির্মাতাদের থেকে ইলেকট্রনিক্স প্রদর্শন করে।
বৈশিষ্ট্য ও উপকারিতা
◆ পেটেন্ট 1 সেন্সর নকশা ব্যতিক্রমী শূন্য স্থিতিশীলতা উপলব্ধ করা হয়
◆ সুনির্দিষ্ট এবং পুনরাবৃত্ত ফ্লো পরিমাপ এবং নিয়ন্ত্রণ জন্য 10 SCCM থেকে 20 SLM পূর্ণ স্কেল প্রবাহ
◆ এনালগ কনফিগারেশনের জন্য পূর্ণ স্কেল সঠিকতা শতাংশ
◆ ফাস্ট উষ্ণ আপ সময় ব্যয়বহুল উত্পাদন ডাউনটাইম কমান
◆ আগের MKS MFC এবং পাওয়ার সাপ্লাই / Readout মডিউলগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ
◆ কঠোর নকশা এবং টেস্টিং এমটিবিএফ বিশ্লেষণ এবং দীর্ঘমেয়াদী কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করার জন্য STRIFE পরীক্ষার অন্তর্ভুক্ত
◆ ঘষিত স্টেইনলেস পৃষ্ঠতলের সারফেস ফিনিস, পরিচ্ছন্ন রুম প্রসেসিং, এবং ইলাস্টোমার জালের ন্যূনতম ব্যবহার পরিষ্কার প্রক্রিয়াগুলির দাবিতে ব্যবহার করা সক্ষম করে
◆ দুই বছরের ওয়ারেন্টি মান এবং গ্রাহক সন্তুষ্টি নিশ্চিত
গঠন
একটি 1179 সি ভর-ফ্লো কন্ট্রোলার একটি ক্রস বিভাগ ডায়াগ্রাম
ফ্লো নির্ভুলতা এবং পুনরাবৃত্ততা
উপরের গ্রাফ 1179 সি পরিবারের মধ্যে অ্যানাওলাম এমএফসির সাধারণ প্রবাহ সঠিকতা এবং পুনরাবৃত্তি দেখায়। 10 দিনের মেয়াদে MKS Instruments Califlow ® প্রাথমিক স্ট্যান্ডার্ড ফ্লো ক্যালিব্রেটর ব্যবহার করে পরিমাপ করা হয়েছিল।
জিরো স্থিতিশীলতা
উপরের গ্রাফ 1179 সি সেন্সরের চমৎকার শূন্য এবং স্প্যান স্ট্যাবিলিটি দেখায় যা 1179 পরিবারে ব্যবহৃত। বাদ্যযন্ত্রগুলি চালিত এবং এলোমেলোভাবে শূন্য জন্য পরীক্ষিত এবং একটি 19 মাস মেয়াদ ধরে span ড্রিফ্ট।
স্পেসিফিকেশন
| পূর্ণ স্কেল রেঞ্জ (N 2 সমতুল্য) | 10, ২0, 50, 100, ২00, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 সিসিএম | |
| সর্বোচ্চ ইনলেট চাপ | 150 psig | |
সাধারণ অপারেটিং চাপ পার্থক্যমুলক (বায়ুমণ্ডলীয় সঙ্গে এমএফসি আউটলেট চাপ) | 10 থেকে 5000 সি সি এম | 10 থেকে 40 টি psid |
| 10000 থেকে 30000 sccm | 15 থেকে 40 টি psid | |
| কন্ট্রোল রেঞ্জ | 2% থেকে 100% FS | |
যথার্থতা (এনালগ) (অ- লিনিয়ারতা, হুইস্টেরিসিস এবং অ পুনরাবৃত্ততা সহ 760 mmHg এবং 0 ° C) | ± 1.0% FS | |
| repeatability | ± 0.2% FS | |
| সমাধান | 0.1% FS | |
| তাপমাত্রা Coefficients | শূন্য | <0.05% fs="" ডিগ্রী=""> |
| বিঘত | <0.08%> | |
| উষ্ণ আপ সময় (স্থিতিশীল রাষ্ট্র কর্মক্ষমতা এর 0.2% মধ্যে FS মধ্যে) | <2> | |
| কন্ট্রোলার সেটলিং টাইম (প্রতি SEMI নির্দেশিকা E17-91) | <2> | |
| চাপ সহগামী | | |
| স্বাভাবিক অপারেটিং তাপমাত্রা বিন্যাস | 0 ডিগ্রী সেন্টিগ্রেড 50 ডিগ্রী সেন্টিগ্রেড | |
| ইনপুট ভোল্টেজ প্রয়োজন | সর্বোচ্চ। প্রারম্ভে বর্তমান (প্রথম 2 সেকেন্ড) | ± 15 টি ভিডিসি (± 5%) @ 200 এমএ |
| স্থিতিশীল অবস্থায় স্থিতিকাল বর্তমান | ± 15 টি ভিডিসি (± 5%) @ 100 এমএ | |
| পয়েন্ট কমান্ড সিগন্যাল সেট করুন | 0 থেকে 5 VDC থেকে 20k Ω | |
| আউটপুট সিগন্যাল | 0 থেকে 5 তে VDC> 10 কে Ω | |
| আউটপুট প্রতিবিম্ব | <1> | |
সংযোগকারী প্রকার এনালগ | 9-পিন বা 15-পিন টাইপ "ডি" (15-পিন টাইপ "ডি" সংযোগকারী বৈদ্যুতিন হয় অন্যান্য MKS প্রবাহ কন্ট্রোলার সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ বিস্তারিত জানার জন্য অ্যাপ্লিকেশন ইঞ্জিনিয়ারিং পরামর্শদাতা।) | |
| ভেজা উপকরণ | মান | 316 এল এস, ভিটন ®, নিকেল |
| ঐচ্ছিক (সীল এবং ভালভ সীট) | Buna-N, Neoprene ®, কালেরজ ® | |
| লিক নিখুঁত | বাহ্যিক (scc / সেকেন্ড তিনি) | <1 x=""> |
| বন্ধ ভালভ মাধ্যমে | <1.0% fs="" 40="" psig="" প্রবেশদ্বারে=""> e এ (কোনও প্রবাহের মাধ্যমে নিশ্চিত করার জন্য, একটি পৃথক ধনাত্মক বন্ধ-বন্ধ ভালভ প্রস্তাবিত হয়।) | |
| জিনিসপত্র (সহ সামঞ্জস্যপূর্ণ) | সোয়াগেলোক ® 4 ভিসিআর ®, সোয়াগেলক ® 4 ভিক্সো ®, ¼ '' সোয়াগালোক | |
| সম্মতি | সিই | |
সীমিত অঙ্কন
দ্রষ্টব্য: অন্যথায় নির্দিষ্ট না হওয়া পর্যন্ত, মাত্রা ইঞ্চি (মিমি রেফারেন্সযুক্ত) মধ্যে নামমাত্র মান আছে
গরম ট্যাগ: সাধারণ উদ্দেশ্য ভর প্রবাহ নিয়ামক - mks 1179c, চীন, নির্মাতারা, সরবরাহকারী, কাস্টমাইজড, চীন মধ্যে তৈরি
তুমি এটাও পছন্দ করতে পারো
