ম্যাগনেট্রন স্পুতারিংয়ের লক্ষ্যবস্তু কী কী? সাধারণ প্রভাব ফ্যাক্টর এবং সমাধান কি?

1. লক্ষ্য বিষাক্ত

◆ ইতিবাচক আয়ন সংগ্রহ

লক্ষ্যমাত্রা বিষাক্ত হলে, একটি অন্তরক ফিল্ম লক্ষ্য পৃষ্ঠের উপর গঠিত হয়। যখন ইতিবাচক আয়ন ক্যাথোড লক্ষ্যমাত্রা পর্যন্ত পৌঁছায়, তখন তারা অন্তঃস্রাব স্তরের বাধা দ্বারা সরাসরি প্রবেশ করতে পারে না, তবে টার্গেট পৃষ্ঠের উপর জমা হয়। সুতরাং, ঠান্ডা ক্ষেত্র সহজেই চক স্রাব হিসাবে সৃষ্টি হয় - চাপ আলো। তাই ক্যাথোড স্পুতারিং এগিয়ে যেতে পারে না।

◆ Anode অদৃশ্য হয়ে যায়

যখন লক্ষ্যমাত্রা বিষাক্ত হয়ে যায়, তখন একটি ভেতরের ভ্যাকুয়াম চেম্বারের প্রাচীরের ওপর একটি অন্তরক ফিল্ম জমা হয়। ইলেক্ট্রনগুলি যে নোডের কাছে পৌঁছায় তা অ্যানড্রয়ে প্রবেশ করে অদৃশ্য হয়ে যায়।

2. লক্ষ্য বিষাক্ত প্রভাব প্রভাব

লক্ষ্যবস্তু বিষাক্ততা প্রভাবিত করে যা মূলত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস এবং sputtering গ্যাস অনুপাত প্রধানত হয়। অতিরিক্ত প্রতিক্রিয়া গ্যাস টার্গেট বিষাক্ত কারণ হতে পারে। প্রতিক্রিয়াশীল sputtering প্রক্রিয়ার প্রক্রিয়ার মধ্যে, টার্গেট পৃষ্ঠের sputtering চ্যানেল অঞ্চল প্রতিক্রিয়া পণ্য দ্বারা আবৃত করা হয়, বা প্রতিক্রিয়া পণ্য বন্ধ বন্ধ এবং ট্রেড করা যা ধাতু পৃষ্ঠ পুনরায় প্রকাশ করতে বন্ধ peeled হয়।

যদি যৌগ গঠনের হার সমপরিমাণ ছিটানো হারের তুলনায় বেশি হয়, তাহলে যৌগ বৃদ্ধি দ্বারা আচ্ছাদিত এলাকা। একটি নির্দিষ্ট ক্ষমতায়, যৌগিক গঠনের সাথে যুক্ত প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের পরিমাণ বৃদ্ধি পায় এবং যৌগ গঠিত হওয়ার হার বৃদ্ধি পায়। যদি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের পরিমাণ অত্যধিকভাবে বৃদ্ধি পায়, তাহলে যৌগ বৃদ্ধির দ্বারা আচ্ছাদিত এলাকা।

যদি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের প্রবাহ সামঞ্জস্য করা যায় না, তবে যৌগ পরিবাহিত এলাকার বর্ধিত হার হ্রাস করা যাবে না এবং স্পাটারিং চ্যানেলটি আরও যৌথভাবে আচ্ছাদিত হবে, যখন স্পুটারিং টার্গেটটি সম্পূর্ণভাবে আচ্ছাদিত দ্বারা আচ্ছাদিত হবে, লক্ষ্য সম্পূর্ণরূপে বিষাক্ত।

3. টার্গেট বিষাক্ত সমাধান

◆ মাঝারি ফ্রিকোয়েন্সি ক্ষমতা বা আরএফ শক্তি গ্রহণ।

◆ প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস পরিমাণ নিয়ন্ত্রণ একটি বন্ধ লুপ গ্রহণ।

◆ জোড়া লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহার করুন

◆ লেপ মোডের রূপান্তরটি নিয়ন্ত্রণ করুন: আবরণ করার আগে, টার্গেট বিষাক্ততার হস্টিসস প্রভাবের বক্ররেখাটি সংগ্রহ করুন, টার্গেট বিষাক্ততার সম্মুখের মধ্যে খাঁড়ি প্রবাহকে নিয়ন্ত্রন করুন, এবং নিশ্চিত করুন যে প্রক্রিয়াটি সবসময়ই মোডের মধ্যে থাকে যে বন্টন হার তীব্র হ্রাস করার আগে