আল্ট্রা-উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট অক্ষর এবং শ্রেণীভুক্ত

10-5pa এর উপরে অপারেটিং আল্ট্রা-উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিটগুলির মধ্যে রয়েছে ডিসফিউশন পাম্প, আণবিক পাম্প অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম ইউনিট এবং তেল মুক্ত অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম ইউনিট। ইউনিট নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য আছে:

প্রধান পাম্প সর্বোচ্চ ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 10-7 ~ 10-8pa এর চেয়ে বেশি।

(2) উচ্চ তাপমাত্রা 200 ~ 450 ℃ বেকিং সহ্য করতে পারেন;

প্রধান পাম্প রিটার্ন গ্যাস আংশিক চাপ কম।

উচ্চ নির্বাচনীতার সাথে প্রধান পাম্পের জন্য, এটি একটি বড় বড় সহায়িক পাম্প দ্বারা সজ্জিত করা হবে।

(1) বিস্তার পাম্প অতি উচ্চ-উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট

প্রধান পাম্প হিসাবে বিভাজন পাম্প সঙ্গে অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম 10-7 ~ 10-8pa হয়।

ডিফিউশন পাম্পের সামনে পর্যায়ে গ্যাসের বিপরীত বিভাজন এবং চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রীতে যান্ত্রিক পাম তেলের বিপরীত বিস্তারের প্রভাবকে হ্রাস করার জন্য, নিম্ন পাম্পিং গতিতে একটি বিস্তার পাম্প ব্যবহার করা যেতে পারে। সংশ্লেষ অনুপাত এবং বিপরীত বিস্তার হ্রাস করতে পাম্প পাম্প। যদি একটি টাইটানিয়াম পরমানন্দ ফাঁদ পারফরম্যান্স পাম্পের ইনলেটে যোগ করা হয়, তাহলে ডিফিউশন পাম্প থেকে নাইট্রোজেন আংশিক চাপ আরও হ্রাস করা যেতে পারে এবং 10-11pa এর একটি উচ্চ-উচ্চ ভ্যাকুয়াম প্রাপ্ত করা যেতে পারে।

(2) আণবিক পাম্প এর অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট

অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম ইউনিটের সর্বাধিক ভ্যাকুয়াম, যা প্রধানত আণবিক পাম্প ব্যবহার করে, 10-8pa হয়, যা দ্রুত শুরু এবং কম তেল দূষণ দ্বারা চিহ্নিত করা হয়।

ইউনিট তরল নাইট্রোজেন ঠান্ডা ফাঁদ যোগ করে পাম্পিং গতি বৃদ্ধি করা যেতে পারে। যান্ত্রিক পাম্পের আউটলেটটি জল ভরাটকে সিস্টেমে প্রবেশ করতে বাধা দেওয়ার জন্য একটি জল ঠান্ডা ফাঁদ দিয়ে সরবরাহ করা হয়।

(3) তেল বিনামূল্যে অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম ইউনিট

ভ্যাকুয়াম ইউনিট যা তরল তৈরির জন্য তেল ব্যবহার করে না এবং জৈব পদার্থের সাথে সীল না করে তেল ছাড়া উচ্চ-ভ্যাকুয়াম ইউনিট বলে। সাধারণভাবে ব্যবহৃত প্রধান পাম্পগুলিতে ক্রিজননিক পাম্প, টাইটানিয়াম পাম্প, স্পুট্টারিং আয়ন পাম্প ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। তেল ভ্যাকুয়াম ইউনিটের তুলনায় এটিতে নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:

পরিষ্কার ভ্যাকুয়াম এবং কোন দূষণ উৎস প্রাপ্ত করা যাবে।

তেল বিনামূল্যে ভ্যাকুয়াম পাম্প শুরু হয়, প্রাক পাম্প বিচ্ছিন্ন করা যাবে।

যদি বায়ুচলাচল হঠাৎ থামে, তাহলে সিস্টেম দূষিত হবে না;

এতে কোন তেল নেই, কোন গোলমাল নেই এবং কোন কম্পন নেই যা কর্মক্ষম পরিবেশ উন্নত করে।

টার্মিনাল ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী উচ্চ, পাম্পিং গতি উচ্চ, এবং পাম্পিং সময় সংক্ষিপ্ত।