ভ্যাকুয়াম ইউনিট নির্বাচন করুন টাইপ করুন

1. ভ্যাকুয়াম ইউনিট গঠন এবং শ্রেণীবিভাগ

ভ্যাকুয়াম ইউনিট সাধারণত নিম্নলিখিত উপাদানগুলি গঠিত হয়: বিভিন্ন ভ্যাকুয়াম পাম্প, ভ্যাকুয়াম পরিমাপ ডিভাইস, ভ্যাকুয়াম ভালভ, ভ্যাকুয়াম পাইপ এবং কিছু অন্যান্য উপাদান যেমন blowers, ভ্যাকুয়াম জয়েন্টগুলোতে, গ্যাস স্টোরেজ ট্যাংক, ধনুরাশি, ধুলো সংগ্রাহক এবং ভ্যাকুয়াম রিলেস।

ইউনিট কাজের চাপ অনুযায়ী, রুক্ষ ভ্যাকুয়াম ইউনিট (> 1330Pa), কম ভ্যাকুয়াম ইউনিট (1330 ~ 0.13Pa), উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট (1.3x10-6 ) ~ 1.3 × 10-11 পি) এবং খুব উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট (<1.2 ×="" 10-11="">

2. নিম্ন ভ্যাকুয়াম ইউনিট

নিম্ন ভ্যাকুয়াম ইউনিট প্রধান বৈশিষ্ট্য উচ্চ কাজ চাপ এবং বড় স্থানচ্যুতি হয়, কিন্তু পাম্পিং গতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট এর চেয়ে কম। এটি বেশিরভাগ ভ্যাকুয়াম চেম্বারের রুক্ষ পাম্পিং এবং ভ্যাকুয়াম স্রাব ইউনিট যেমন ভ্যাকুয়াম স্রাব ইউনিট, ভ্যাকুয়াম ইউনিট, ভ্যাকুয়াম ফিল্টার ইউনিট, ভ্যাকুয়াম ডিগ্র্যাসিং ইউনিট, ভ্যাকুয়াম শুকানোর ইউনিট ইত্যাদি হিসাবে উচ্চ কার্যকরী চাপের প্রয়োজন এমন কিছু ভ্যাকুয়াম ইউনিটের জন্য ব্যবহৃত হয়। কম ভ্যাকুয়াম ইউনিটের প্রধান পাম্পগুলি সাধারণত ভ্যাকুয়াম পাম্প, তেল সীল ভ্যাকুয়াম পাম্প, ওয়াটার জেট পাম্প, ওয়াটার বাষ্প জেট পাম্প, ওয়াটার রিং পাম্প, তেল বাষ্প জেট পাম্প, আণবিক চালচলন পরিশোষণ পাম্প এবং রুট পাম্পগুলি পুনর্বিনিশ্চিত করা হয়। একটি কম ভ্যাকুয়াম ইউনিট ব্যবহার করে, ধুলো সংগ্রাহক এবং শুষ্ক ফিল্টার যেমন সামগ্রী পরিষ্কার করা এবং পাম্প করার জন্য গ্যাসের আর্দ্রতা ডিগ্রীর প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী সামগ্রীগুলিকে কনফিগার করা প্রয়োজন।

3. উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট

3.1 প্রধান পাম্প নির্বাচন করুন। প্রধান পাম্প বিভক্ত পাম্প, আণবিক পাম্প, sputter আয়ন পাম্প, টাইটানিয়াম পাম্প, ক্রায়োজেনিক পাম্প এবং তাই হতে পারে।

3.2 ব্যাকিং পাম্প এবং গ্যাস স্টোরেজ পাইপটি বেছে নিন (শক প্রতিরোধী, কাজের চক্রটি ছোট করুন, ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ভেন্টিংয়ের পরিমাণ বাড়িয়ে নিন, এবং স্প্রেডিং পাম্পের আউটলেট চাপ স্থির করুন)

4. আল্ট্রা-উচ্চ ভ্যাকুয়াম ইউনিট

প্রধান পাম্প চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম উচ্চ, ফুটো হার কম, এবং এটি 200-450 ° C এ বেকিং প্রতিরোধী।

4.1 ডিফিউশন পাম্প ইউনিট: ব্যাকফ্লো কমানো এবং দূষণ নিয়ন্ত্রণ।

4.2 আণবিক পাম্প ইউনিট: হাইড্রোজেনের কম্প্রেশন অনুপাত ছোট, এবং অবশিষ্ট গ্যাস প্রধানত হাইড্রোজেন।

4.3 Sputter আয়ন পাম্প ইউনিট: সাধারণত একটি টাইটানিয়াম পাম্প সঙ্গে সমন্বয় ব্যবহৃত।

4.4 ক্রিয়েজেনিক পাম্প ইউনিট: কোন দূষণ।