ইলেক্ট্রন বিম বাষ্প ব্যবস্থা

ইলেক্ট্রন মরীচি এবং তাপ বপন সিস্টেম। গ্রহাণু আকার এবং উপাদান উপর নির্ভর করে, গ্রহাণু বা সহজ ঘূর্ণন পর্যায়ে 950 ডিগ্রি সেলসিয়াস বেশী তাপমাত্রা গরম করতে পারে। আইবিএড এবং সাবস্ট্রট প্রাক-পরিচ্ছন্নতারের জন্য আইওন উৎসগুলিও সিস্টেমে একত্রিত করা যেতে পারে। বাষ্প ব্যবস্থাগুলি সম্পূর্ণ পাম্পিং স্টেশন, ম্যানুয়াল বা ইলেক্ট্রো-নিউম্যাটিক ভালভ, সমস্ত ভ্যাকুয়াম গেজ, একটি পাওয়ার ডিস্ট্রিবিউশন বক্স, ইলেকট্রনিক র্যাকস, জল এবং বায়ু বহুগুণ, এবং নিরাপত্তা interlocks সঙ্গে আসে। সিস্টেম নিজে বা কম্পিউটার নিয়ন্ত্রণ মাধ্যমে পরিচালিত হতে পারে। সাবস্ট্রট তাপ এবং ম্যানিপুলার অ-স্ট্যান্ডার্ড স্তর স্তর এবং মাপের জন্য ডিজাইন করা যেতে পারে। অ্যাপ্লিকেশন মৌলিক উপকরণ গবেষণা, SAW ডিভাইস, সিলিকন এবং GaAs ওয়েফার মেটালাইজেশন, MEMS বা প্রদর্শন প্রযুক্তি, এবং আরো অন্তর্ভুক্ত।

ইলেকট্রন বিম এবং তাপ উৎস, বিদ্যুৎ সরবরাহ, আয়ন বিম বা ম্যাগনেট্রন স্পুটার উত্সগুলির একীকরণ, RGA এর, UHV ক্ষমতা, মাল্টি-ওয়েফার লোড লক এবং ইন-সিটি মনিটরগুলির বিস্তৃত সহ অনেক সিস্টেম বিকল্প পাওয়া যায়।