ক্যাথোডিক আর্ক জমা

ক্যাথডিক অ্যাক্স্প ডিপোশন বা আর্ক-পিভিডি একটি শারীরিক বাষ্প বর্ধন কৌশল যা একটি বৈদ্যুতিক চাপ একটি ক্যাথোড লক্ষ্য থেকে উপাদান বাষ্প করা হয় । বাষ্পীভূত উপাদান তারপর একটি পাতলা উপর condensed, একটি পাতলা ফিল্ম গঠন এই টেকনিকটি ধাতব , সিরামিক , এবং কম্পোজিট চলচ্চিত্র জমা করার জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে ।

প্রক্রিয়া

একটি ক্যাথোড (লক্ষ্য হিসাবে পরিচিত) পৃষ্ঠের উপর একটি উচ্চ বর্তমান , কম ভোল্টেজের চাপের আক্রমনের মাধ্যমে চাপ বাষ্পীভবন প্রক্রিয়াটি শুরু হয় (সাধারণত কয়েকটি মাইক্রোমেট্রার বিস্তৃত), একটি ক্যাথোড হিসাবে পরিচিত অত্যন্ত অনলস নির্গমণ এলাকা স্পট। ক্যাথোড স্পেসে স্থানান্তরিত তাপমাত্রা অত্যন্ত উচ্চ (প্রায় 15000 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড), যা একটি উচ্চ বেগ (10 কিমি / সেকেন্ড) vapourised ক্যাথোড উপাদানের জেটে পরিনত করে, ক্যাথোড পৃষ্ঠের পিছনে একটি ক্র্যাট রেখে ক্যাথোড স্পট অল্প সময়ের জন্য শুধুমাত্র সক্রিয়, তারপর এটি আগের crater কাছাকাছি একটি নতুন এলাকায় আত্ম extinguishes এবং পুনরায় জ্বলন্ত। এই আচরণ চাপ এর আপাত গতির কারণ।

চাকার মূলত একটি বর্তমান বহনকারী কন্ডাকটর হিসাবে এটি একটি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক ফিল্ডের প্রয়োগের দ্বারা প্রভাবিত হতে পারে , যা প্রচলিত গতির সমগ্র পৃষ্ঠের উপর চাপকে দ্রুত গতিতে চালানোর জন্য ব্যবহার করা হয়, যাতে সামগ্রীর সময় সময়ের মধ্যে ক্ষয় হয়।

চাকার একটি অত্যন্ত উচ্চ ক্ষমতা ঘনত্ব যার ফলে উচ্চ স্তরের ionization (30-100%), একাধিক চার্জ আয়ন , নিরপেক্ষ কণা, ক্লাস্টার এবং ম্যাক্রো কণা (ড্রপ)। বাষ্পীভবন প্রক্রিয়ার সময় একটি প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস আবিষ্কৃত হয় , আয়োন ফ্লক্সের সাথে মিথস্ক্রিয়া চলার সময় বিচ্ছেদকরণ , ionization এবং উত্তেজনা ঘটতে পারে এবং একটি যৌগিক ছবি জমা দেওয়া হবে।

চাপ বাষ্পীভবন প্রক্রিয়ার একটি downside হল যদি ক্যাথোড স্পট খুব দীর্ঘ জন্য একটি evaporative বিন্দু এ স্থায়ী হয় এটি ম্যাক্রো কণা বা droplets বৃহৎ পরিমাণ নির্গত করতে পারেন। এই ঘূর্ণি লেপ আবরণ কর্মক্ষমতা ক্ষতিকারক হয় হিসাবে তারা খারাপভাবে adhered হয় এবং আবরণ মাধ্যমে প্রসারিত করতে পারেন। ক্যাথোড লক্ষ্য উপাদান যেমন অ্যালুমিনিয়াম হিসাবে কম গলে যাওয়া পয়েন্ট আছে খারাপ যদি ক্যাথওড স্পট লক্ষ্য মাধ্যমে বাজানো হতে পারে লক্ষ্য টার্গেটেড প্লেট উপাদান evaporated বা জল চেম্বার প্রবেশ শীতল মধ্যে উদ্দীপিত হতে পারে। অতএব, আগে উল্লেখ করা চৌম্বক ক্ষেত্রগুলি চাপের গতি নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। যদি নলাকার ক্যাথোডগুলি ব্যবহার করা হয় তবে ক্যাথোডগুলিকে ডিপোজিটের সময় ঘোরানো হতে পারে। ক্যাথোড স্পট এক অবস্থানে থাকা না করে দীর্ঘ অ্যালুমিনিয়াম লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহার করা যাবে এবং ঘূর্ণায়মান সংখ্যা হ্রাস করা হয়। কিছু কোম্পানি ফিল্টার করা আর্কগুলি ব্যবহার করে যা চুম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি ব্যবহার করে কংক্রিটের প্রবাহ থেকে ঘনত্বকে পৃথক করে।

সরঞ্জাম নকশা

Sablev টাইপ ক্যাথিডিক আর্ক উৎস, যা ওয়েস্টে সর্বাধিক ব্যবহৃত হয়, ক্যাথোডে একটি ওপেন এন্ডের সাথে একটি ছোট নলাকার আকৃতি বৈদ্যুতিক পরিবাহী লক্ষ্য করে। এই লক্ষ্যটি একটি আচ্ছাদিত আবদ্ধ রিং (Strel'nitskij ঢাল) হিসাবে কাজ বেষ্টিত একটি electrically- ভাসমান ধাতু রিং আছে। সিস্টেমের জন্য অ্যানোয়েড হয় ভ্যাকুয়াম চেম্বারের প্রাচীর বা একটি পৃথক anode। ক্যাসেট এবং অ্যানডের মধ্যে সাময়িকভাবে শর্ট সার্কিট তৈরি করে লক্ষ্যের খোলা অংশে যান্ত্রিক ট্রিগার চাপ সৃষ্টি হওয়ার পর চুম্বক ক্ষেত্র দ্বারা চালিত বা চুম্বকীয় ক্ষেত্রের অনুপস্থিতিতে এলোমেলোভাবে চলতে পারে।

ক্যাথোডিক আর্ক উত্স থেকে প্লাজমা মরীচিটি কিছু পরমাণস বা অণু (তথাকথিত ম্যাক্রো-কণা) এর কিছু বৃহৎ ক্লাস্টার ধারণ করে, যা কিছুটা ফিল্টারিং ছাড়াই কিছু অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযোগী হতে পারে। ম্যাক্রো-কণা ফিল্টারের জন্য অনেকগুলি নকশা আছে এবং সবচেয়ে অধ্যয়নকৃত নকশাটি দ্বিতীয় আকেনোভ এট আলের কাজের উপর নির্ভর করে। 70 এর মধ্যে এটি আর্ক উত্স থেকে 90 ডিগ্রি উপরে একটি চতুর্থাংশ ঘনত্ব নল গঠিত এবং प्लाज्मा প্লাজমা অপটিক্স নীতি দ্বারা নালী থেকে নির্দেশিত হয়।

আরও আকর্ষণীয় নকশা যেমন একটি নকশা যা 90 এর দশকে DA Karpov দ্বারা রিপোর্ট হিসাবে truncated শঙ্কু আকৃতি ক্যাথোড সঙ্গে নির্মিত একটি সরাসরি নালী ফিল্টার অন্তর্ভুক্ত। এই নকশা রাশিয়া এবং প্রাক্তন ইউএসএসআর দেশগুলির মধ্যে এখনও পর্যন্ত পাতলা হার্ড ফিল্ম কোটার এবং গবেষক উভয়ের মধ্যে জনপ্রিয় হয়ে ওঠে। ক্যাথিডিক চাপ উত্স দীর্ঘ নলাকার আকৃতি (বর্ধিত চাপ) বা দীর্ঘ আয়তক্ষেত্রাকার আকৃতির মধ্যে তৈরি করা যেতে পারে কিন্তু উভয় নকশা কম জনপ্রিয়।

অ্যাপ্লিকেশন

ক্যাথোডিক চাকার বন্টন সক্রিয়ভাবে কাটিয়া সরঞ্জামের পৃষ্ঠতল রক্ষা এবং উল্লেখযোগ্যভাবে তাদের জীবন বাড়ানোর জন্য অত্যন্ত হার্ড ফিল্ম সংশ্লেষ ব্যবহৃত হয়। তীব্র হার্ড-ফিল্ম, সুপারহার্ড কোটিংস এবং ন্যানোকোমোসিয়েট কোটিংগুলির বিভিন্ন ধরণের এই প্রযুক্তির দ্বারা TiN , TiAlN , CRN , ZRN , AlCrTiN এবং TiAlSiN সহ সংশ্লেষিত করা যায় ।

এটি অত্যন্ত ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় বিশেষ করে কার্বন আয়ন বন্টনের জন্য হীরার মতো কার্বন ছায়াছবি তৈরি করা। যেহেতু আয়নগুলি বায়োপিকভাবে পৃষ্ঠ থেকে বিস্ফোরিত হয় , এটি কেবল একক পরমাণুর জন্যই সাধারণ নয়, তবে পরমাণুগুলির বৃহত অংশগুলি নির্গত হবে। এইভাবে, এই ধরনের সিস্টেমের একটি ব্যাগ থেকে আগে মরীচি থেকে পরমাণু ক্লাস্টার অপসারণ ফিল্টার প্রয়োজন। ফিল্টার-চাপের DLC ফিল্মটিতে রয়েছে ^{3 টি} হীরা যা ত্রিরাধ্রীয় অ্যাম্বোফাস কার্বন বা টা-সি নামে পরিচিত ।

ফিল্টারকৃত ক্যাথিডিক চাপকে আয়ন উদ্গত এবং প্লাজমা নিমজ্জন আইওন ইমপ্ল্যাণ্টেশন এবং ডিপোজিপশন (পিআইআইআই ও ডি) -এর জন্য ধাতু আয়ন / প্লাজমা উৎস হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে।