Magnetron Sputtering লক্ষ্যমাত্রার ক্ষমতা-বহন ক্ষমতা এর বিশ্লেষণ
May 24, 2018| 1. লক্ষ্য এলাকা এবং লোড শক্তি পরিসীমা
(1) বৃত্তাকার প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন টার্গেটের শক্তি ঘনত্ব সাধারণত 1 ~ ২5 ডি / সেমি ২
(2) আয়তক্ষেত্রাকার প্ল্যানার ম্যাগনেট্রন টার্গেটের শক্তি ঘনত্ব হল 1 ~ 36W / সেমি ২
(3) কলাম ম্যাগনেট্রন টার্গেট এবং শঙ্কু প্লেয়ার ম্যাগনেট্রন টার্গেট (এস বন্দুক) এর শক্তি ঘনত্ব সাধারণত 40 ~ 50 ডি / সেমি ২ ।
2. ম্যাগনেটron টার্গেটের প্রকৃত বহন ক্ষমতা
স্পুত্টারিং টেকনোলজি এবং ফিল্ম কোয়ালিটি প্রয়োজনীয়তা ছাড়াও, ম্যাগনেট্রন টার্গেটের প্রকৃত বেয়ারিং পাওয়ারটি কুলিং অবস্থার সাথে ঘনিষ্ঠ সম্পর্কযুক্ত এবং টার্গেটের তাপ অপচয়ের শর্তগুলির সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত।
চুম্বক পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে ম্যাগনেট্রন লক্ষ্যমাত্রা দুটি প্রকারের "সরাসরি জল কুলিং লক্ষ্য" এবং "পরোক্ষ জল কুলিং টার্গেট" বিভক্ত করা যায়।
দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহার করার পর লক্ষ্যমাত্রা বৃদ্ধির বিষয়টি বিবেচনা করলে তার তাপ অপচয়হীন অবস্থাগুলি দরিদ্র করে তুলবে, এবং বিভিন্ন লক্ষ্যবস্তু উপকরণের বিভিন্ন তাপ স্থানান্তর সমবায়, ম্যাগনেট্রন টার্গেটের চূড়ান্ত লোড শক্তি এবং সরাসরি জল শীতল লক্ষ্যের প্রকৃত সর্বোচ্চ ক্ষমতা গ্রহণ করা ক্ষমতা ঘনত্ব পরিসীমা ঊর্ধ্ব সীমা কম হালকা সেট করা যাবে। এবং পরোক্ষ জল কুলিং লক্ষ্য প্রকৃত সর্বোচ্চ লোড ক্ষমতা ঘনত্ব পরিসীমা ঊর্ধ্ব সীমা অর্ধেক সেট করা যেতে পারে।
যখন ম্যাগনেটron লক্ষ্যমাত্রা (প্রধানত Cu, Ag, ব্রাস, এবং আল ব্রোঞ্জ) "স্ব-স্পট্টারিং", এটি সাধারণত একটি ম্যাগনেট্রন sputtering লক্ষ্য যা বিশেষভাবে "সরাসরি জল-শান্ত" জন্য ডিজাইন করা হয় ব্যবহার করে। ব্যবহারের জন্য চূড়ান্ত বহন ক্ষমতা টার্গেট শক্তি ঘনত্ব পরিসীমা উপরের সীমা বেশী হতে হবে।