মাল্টি-আর্ক আয়ন আচ্ছাদন

মাল্টি-আর্ক আয়ন কলাই চাপ স্রাব এর মাধ্যমে কঠিন ক্যাথোড লক্ষ্য ধাতু ধাতু সরাসরি বাষ্পীভবন হয়। বাষ্পীভবন একটি ক্যাথোড অ্যাক্সন আলো পয়েন্ট থেকে মুক্তি একটি ক্যাথোড উপাদান একটি আয়ন হয়, যাতে এটি জমা স্তর পাতলা ফিল্ম একটি পাতলা ফিল্ম হতে পারে।

উন্নয়ন

ভ্যাকুয়াম আয়ন কলাই 1963 সালে DM Mattox দ্বারা প্রস্তাবিত এবং পরীক্ষা শুরু হয়েছিল। 1971 সালে, চেম্বার এট আল প্রকাশিত ইলেক্ট্রন বিম আয়ন কলাই প্রযুক্তি। 197২ সালে, বি প্রতিক্রিয়া বাষ্পীভবন প্রবর্তন (ARE) প্রযুক্তি রিপোর্ট, এবং TIN এবং TIC সুপারহার্ড ফিল্ম তৈরি একই বছরে, মোলি এবং স্মিথ ঠালা ক্যাথোড প্রযুক্তির আবরণে প্রয়োগ করেছিলেন। বিংশ শতাব্দীর বিংশ শতাব্দীতে, বহু আকৃতির আয়ন আচ্ছাদন এবং চাকা স্রাব উচ্চ ভ্যাকুয়াম আয়ন কলাই চীন প্রদর্শিত হয়, এবং আয়ন কলাই শিল্প অ্যাপ্লিকেশন স্তরে পৌঁছেছেন।

নীতি

আয়ন প্লেটটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে গ্যাস স্রাব বা বায়োপ্যাপারের আংশিক ionization, সারণির উপর বাষ্পীভবন বা বিক্রিয়া নির্ণয়ের দ্বারা সঞ্চালিত হয়, যখন গ্যাস আয়ন বা বাষ্পীয় কণা দ্বারা বোমাবাজি করা হয়, স্রোতের উপর বাষ্পীভবন বা বিক্রিয়া পদার্থ। আয়ন প্লেটিং গ্লাশ স্রাব, রক্তরস প্রযুক্তি এবং ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন, যা কেবল ফিল্ম মানের স্পষ্টতই উন্নতি করতে পারে না, কিন্তু ফিল্মের অ্যাপ্লিকেশন সুযোগ বৃহদায়তন। ছবির সুবিধার দৃঢ় আনুগত্য, ভাল ডিফ্রাকশন এবং ব্যাপক ঝিল্লি উপাদান। ডিএম প্রথম আয়ন প্লেটিং এর নীতি প্রস্তাব, যা কাজ প্রক্রিয়া হয়:

● ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি 4 x 10 (-3) পাউন্ডের উপরে ভ্যাকুয়াম ডিগ্রিতে পাম্প করা হয় এবং তারপর উচ্চ ভোল্টেজ পাওয়ার সাপ্লাইটির সাথে সংযুক্ত হয় এবং নিম্ন-তাপমাত্রার প্লাজমা অঞ্চলটিকে বাষ্পীভবন উৎস এবং সিক্রেটের মধ্যে কম চাপের গ্যাস স্রাবের স্থাপন করে। ।

● একটি স্তর স্রাব ক্যাথোড গঠন 5KV ডিসি নেতিবাচক উচ্চ ভোল্টেজের সাথে সংযুক্ত স্তর স্তর বিদ্যুদ্বাহক।

● গ্লাস স্রাব জোন উত্পাদিত আণবিক গ্যাস আয়ন ক্যাথোডের অন্ধকার এলাকায় বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা ত্বরিত হয় এবং স্তর স্তর বোমা এবং পরিষ্কার করা হয়।

● লেপ প্রক্রিয়ায়, গরম বস্তুকে বাষ্পীভূত করে তোলে, পরমাণু প্লাজমা এলাকায় প্রবেশ করে, যা আণবিক গ্যাস আয়ন এবং ইলেকট্রনগুলির সাথে সংঘর্ষে যায় এবং আয়নীকরণের কয়েকটি অংশ উত্পাদিত হয়।

● ionized আয়ন এবং গ্যাস আয়ন উচ্চ শক্তি সঙ্গে আবরণ পৃষ্ঠ bombarded, যা উন্নত ফিল্ম মান উন্নত

মাল্টি-আর্ক আয়ন কলাই সাধারণ আয়ন কলাইয়ের থেকে ভিন্ন, যা ঐতিহ্যবাহী আয়ন আচ্ছাদন স্রাব সোপানের পরিবর্তে আর্ক স্রাব ব্যবহার করে। সংক্ষেপে, বহু-আর্ক আয়ন প্রলিপ্তের নীতিটি ক্যাথোডের লক্ষ্যকে লক্ষ্যবস্তু হিসেবে লক্ষ্য করে লক্ষ্যবস্তু উপাদানকে লক্ষ্যস্থল এবং অ্যানোড শেলের মধ্যে চাপের স্রাব দ্বারা বপন করার উৎস হিসাবে ব্যবহার করা হয়, যাতে প্লেস মহাকাশে গঠিত হয় এবং নিম্নস্তর।

সুবিধা

● পল্লা ক্যাথোড থেকে একটি গলিত পুল ছাড়া সরাসরি উত্পন্ন হয়। ক্যাথোড লক্ষ্য workpiece আকৃতি অনুযায়ী কোন দিক মধ্যে ব্যবস্থা করা যেতে পারে, যাতে চোকান ব্যাপকভাবে সরলীকৃত হয়।

● ঘটনা কণা শক্তি এবং ফিল্ম ঘনত্ব উচ্চ, শক্তি এবং স্থায়িত্ব ভাল, এবং চমৎকার আনুগত্য শক্তি।

● আয়নীকরণের উচ্চ হার, সাধারণত পর্যন্ত 60% থেকে 80% পর্যন্ত।

● অ্যাপ্লিকেশন বিন্দু থেকে, বন্টন হার দ্রুত।

অসুবিধা

● উচ্চ শক্তি এ, একটি উষ্ণ বিন্দু উত্পাদন করা প্রয়োজন, যা লেপ গুণমান প্রভাবিত করে