ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন অপারেশন পদ্ধতির ভূমিকা

Mar 03, 2018|


ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন একটি আবরণ যন্ত্র যা একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম এ কাজ করার প্রয়োজন। এটি দুই ধরনের বাষ্পীভবন এবং sputtering মধ্যে বিভক্ত করা হয়।


বাষ্পীভবন লেপ প্রক্রিয়া সাধারণত গরম লক্ষ্য উপাদান হয়, যা লক্ষ্যবস্তু উপাদানগুলির পৃষ্ঠ উপাদান পারমাণবিক বা আয়ন আকার দ্বারা বাষ্পীভূত হতে পারে, এবং স্তর স্তর জমা, ফিল্ম গঠন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে পাতলা ফিল্ম গঠন করে।


স্পুতরিং লেটিং সহজভাবে বোঝা যায় ইলেকট্রন বা উচ্চ-শক্তি লেজারের ব্যবহার লক্ষ্যবস্তুকে বোমা বানানোর জন্য এবং টার্গেটের পৃষ্ঠের উপাদানগুলি পরমাণু বা আয়ন আকারে স্পুটারিং করা হয় এবং অবশেষে সারণির পৃষ্ঠে জমা দেয়, ফলে ফিল্ম গঠন প্রক্রিয়ার মাধ্যমে পাতলা ফিল্ম।


পদক্ষেপগুলি ব্যবহার করুন:


1. ভ্যাকুয়াম আবরণ জন্য electromechanical নিয়ন্ত্রণ মন্ত্রিসভা অপারেশন পদ্ধতি


(1) জল পাম্প এবং বায়ু উৎস খুলুন।


(2) প্রধান শক্তি চালু করুন


(3) হোল্ডিং পাম্প এবং ভ্যাকুয়াম মিটারের পাওয়ার সাপ্লাইটি খুলুন, ভ্যাকুয়াম গেজ পজিশন V1 পজিশন, 10 এর কম এর মানের জন্য অপেক্ষা করুন, এবং পরবর্তী অপারেশনটি লিখুন। সম্ভবত পাঁচ মিনিট প্রয়োজন।


(4) যান্ত্রিক পাম্প চালু, প্রাক পাম্প সঞ্চালন, টার্বো আণবিক পাম্প পাওয়ার সাপ্লাই খুলুন এবং আণবিক পাম্প শুরু। ভ্যাকুয়াম গেজ সুইচটি V2 এর অবস্থানে পরিবর্তিত হয়। ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি 2 এর কম পাম্প পরে, পাম্পিং বন্ধ করুন, এবং এটি 20 মিনিট সময় লাগবে।


(5) টারবাইন আণবিক পাম্পের পাঠ্যপুস্তক ২50 পর্যন্ত পৌঁছানোর জন্য যখন দেখা যায় তখন পূর্ব পাম্পিং বন্ধ হয়ে যায়, তারপর ব্যাকিং পাম্প খুলুন এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম ভালভগুলি সরানো অব্যাহত থাকে। শুধুমাত্র ভ্যাকুয়াম 2 × 10-3 পর্যন্ত পৌঁছানোর পর ইলেকট্রনিক বন্দুকের বিদ্যুৎ সরবরাহ চালু করা যায়।


2. ভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন অপারেশন


(1) প্রধান শক্তি চালু করুন


(2) একই সময়ে বৈদ্যুতিন বন্দুক নিয়ন্ত্রণ আমি এবং দ্বিতীয় শক্তি সরবরাহ খুলুন: ইলেকট্রনিক বন্দুক নিয়ন্ত্রণ অনুযায়ী আমি ক্ষমতা, বিলম্ব সুইচ, এবং তারপর বিলম্ব আলো, শক্তি বাতি এবং সুরক্ষা আলো, হালকা আপ। তিন মিনিট পরে বিলম্ব আলো এবং সুরক্ষা ল্যাম্প বন্ধ। যদি পিছন দরজা বন্ধ হয় না বা প্রবাহ রিলে ত্রুটিপূর্ণ হয়, সুরক্ষা আলোর সবসময় থাকবে।


(3) উচ্চ চাপ খুলুন, উচ্চ চাপ 10KV বেশী পৌঁছাতে হবে, প্রায় 200mA যাও মরীচি সামঞ্জস্য, ঢাল গ্রিড 20V / 100mA, ফিলামেন্ট বর্তমান 1.2A, বিপরীত বর্তমান সুইং 1 ~ 1.7।


3. ভ্যাকুয়াম আবরণ মেশিন শাটডাউন ক্রম


(1) গেজ সাজসরঞ্জাম এবং আণবিক পাম্প বন্ধ করুন।


(2) আণবিক পাম্প 50 পর্যন্ত দেখায়, উচ্চ ভ্যাকুয়াম ভালভ, ব্যাক পাম্প এবং যান্ত্রিক পাম্প ক্রম বন্ধ হয়। সম্ভবত 40 মিনিট প্রয়োজন


(3) যখন আণবিক পাম্পটি 50 এর কম দেখায় তখন হোল্ডিং পাম্প বন্ধ করুন।


আগে: Sputtering কি?
Next2: Sputter Deposition
অনুসন্ধান পাঠান