ডিসি বায়াস এবং পালস বিয়াস তুলনা

ঐতিহ্যবাহী আর্ক আয়ন কলাইটি ডিসি নেতিবাচক পক্ষপাতকে বোঝায়, আয়ন বোমা বজায় রাখার শক্তি নিয়ন্ত্রণ করতে সারণি প্রয়োগ করা হয়। বন্টন প্রক্রিয়া নিম্নলিখিত অসুবিধা আছে:

● নিম্ন তাপমাত্রার তাপমাত্রার উপর কঠোর ছায়াছবি জমা দেওয়ার জন্য উপস্তরের উচ্চ তাপমাত্রা বৃদ্ধির উপযোগী নয়।

● উচ্চ শক্তি আয়ন বোমা হামলা গুরুতর sputtering কারণ, এবং হার্ড পাতলা ফিল্ম উচ্চ প্রতিক্রিয়া থ্রেশহোল্ড শক্তি আয়ন বোমা শক্তির সংশ্লেষণ বৃদ্ধি শুধুমাত্র দ্বারা হতে পারে না।

ডিসি পক্ষপাতের আর্ক আয়ন আবরণ প্রক্রিয়াতে, আয়ন ধ্রুব বোমা বজায় রাখার জন্য স্তর স্তর এবং বজ্রপাতের তাপমাত্রা খুব বেশী হয়, প্রধান পরিমাপ বন্টন ক্ষমতা হ্রাস করা হয়, বন্টন সময় হ্রাস করা হয়, বিরতির জমাকরণ ব্যবহার এবং বন্টন তাপমাত্রা কমাতে অন্যান্য ব্যবস্থা, এই ব্যবস্থাগুলি "শক্তি নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি" বলা হয়। যদিও এই পদ্ধতিটি ডিপোশন তাপমাত্রা কমাতে পারে, এটি ফিল্মের কিছু বৈশিষ্ট্যও হ্রাস করে, যখন উত্পাদন দক্ষতা এবং ফিল্মের গুণমানের স্থিতিশীলতা হ্রাস করা। অতএব, জনপ্রিয়তা এবং অ্যাপ্লিকেশনের জন্য এটি কঠিন।

বায়ু পক্ষপাতের আর্ক আয়ন প্রলেপশন প্রক্রিয়ার মধ্যে, আয়নগুলি বক্রতা পার্সনের শুল্ক অনুপাতের সমন্বয় করে, অ-ধারাবাহিক নাড়ি দিয়ে স্তর স্তর বোমা, ম্যাট্রিক্সের ভিতরের এবং পৃষ্ঠের মধ্যে তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট পরিবর্তন করা যায় এবং তারপর স্তর এবং ভূপৃষ্ঠের মধ্যে তাপমাত্রার ভারসাম্য ক্ষতিপূরণ প্রভাব পরিবর্তিত হতে পারে, যাতে বিষণ্নতা তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের উদ্দেশ্য অর্জন করতে পারে এই ভাবে, প্রয়োগ পক্ষপাতের নাড়ি উচ্চতা এবং workpiece তাপমাত্রা পৃথকভাবে (কোন প্রভাব বা ছোট প্রভাব) সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে পারে। ডিফিউশন তাপমাত্রা কমে যাওয়ার জন্য আয়োন বোমাটির মোট গরম প্রভাব হ্রাস করার জন্য দায়িত্ব অনুপাত হ্রাস করে, পাতলা ফিল্মের microstructure এবং বৈশিষ্ট্য উন্নত করতে উচ্চ-শক্তি আয়নের বোমাবাজি প্রভাব ব্যবহার করতে ব্যবহৃত হয়।