অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম চুল্লি মধ্যে ক্রিজনীয় পাম্প অ্যাপ্লিকেশন উদাহরণ

অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম চুল্লি মধ্যে ক্রিজনীয় পাম্প অ্যাপ্লিকেশন উদাহরণ

10 বছরেরও বেশি আগে, আমরা ভ্যাকুয়াম ইলেকট্রনিক প্রযুক্তি সম্পর্কিত প্রক্রিয়া সরঞ্জামে ক্রিজনিক পাম্প এবং শুষ্ক পাম্প তেল মুক্ত সিস্টেমটি সন্তোষজনকভাবে কার্যকর করে অতিমাত্রায় ভ্যাকুয়াম অর্জন করতে শুরু করেছিলাম। এই প্রচেষ্টা ক্রিজনীয় পাম্প, যা দ্রুত, পরিষ্কার এবং নির্ভরযোগ্য, ভ্যাকুয়াম চুল্লি অনন্য সুবিধা প্রযোজ্য। ক্রিজনীয় পাম্প একটি পরিচ্ছন্ন অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ অর্জন করতে ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের মধ্যে অন্তর্ভুক্ত করা হয়। এই কাগজ অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম চুল্লি মধ্যে ক্রিজনীয় পাম্প অ্যাপ্লিকেশন প্রবর্তন। ক্রিজনিক পাম্প ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের নকশা ধারণা, প্রধান কনফিগারেশন এবং ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের মনোযোগের প্রয়োজন বিষয়গুলি, ক্রিজনীয় পাম্পের নির্বাচন এবং গণনাটি জোরপূর্বক প্রবর্তিত হয়। অনুরূপ ভ্যাকুয়াম চুল্লির গবেষণা ও উন্নয়ন এবং ক্রিজনীয় পাম্পের প্রয়োগের জন্য এর উল্লেখযোগ্য মূল্য রয়েছে। অতিশয় উচ্চ ভ্যাকুয়াম স্পেসিফিকেশন অনুযায়ী সমস্ত গবেষণা ও উন্নয়ন লিঙ্কগুলি কঠোরভাবে নিয়ন্ত্রণ, পরিষ্কার, ডিগ্যাসিং এবং বেকিং করে, ভ্যাকুয়াম চুল্লির চূড়ান্ত চাপ 2 10-7pa পৌঁছেছে, যা প্রায় একটি ক্রম অনুসারে প্রচলিত ভ্যাকুয়াম চুল্লির সীমা চাপ বাড়িয়েছে মাত্রা। সাম্প্রতিক বছরগুলিতে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের ক্ষেত্রে তেল-মুক্ত ভ্যাকুয়াম পাম্প চালু করা হয়েছে এবং ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে। অতএব, ক্রিজননিক পাম্প এবং শুষ্ক পাম্প দ্বারা উপস্থাপিত তেল-মুক্ত অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম অধিগ্রহণ পদ্ধতিটি অর্ধপরিবাহী ইলেকট্রনিক প্রযুক্তি, অপটিক্যাল লেপ সিস্টেম এবং মহাকাশ ক্ষেত্রের ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে প্রচারিত হয়েছে।

নিম্ন-তাপমাত্রা মাধ্যমের মাধ্যমে 20 কিলোমিটার নীচের পাম্পিং পৃষ্ঠের তাপমাত্রা কমিয়ে, নিম্ন উত্সাহিত গ্যাসের সাথে গ্যাসটি পাম্পিং পৃষ্ঠায় ঘনীভূত হতে পারে এবং প্রচুর পরিমাণে গ্যাস নিষ্কাশন করা যেতে পারে। কম তাপমাত্রা পাম্পিং পৃষ্ঠ ব্যবহার ক্রিজনীয় পাম্প, বা condensing পাম্প বলা condensed গ্যাস পাম্প হতে হবে। এটি একটি যন্ত্র যা কনডেন্স, adsorbs বা condens + পৃষ্ঠ তাপমাত্রা হ্রাস করার জন্য কম তাপমাত্রা মাঝারি ব্যবহার করে গ্যাস adsorbs, যাতে পাম্প স্পেস চাপ কমানো এবং ভ্যাকুয়াম রাষ্ট্র প্রাপ্ত বা বজায় রাখা।

একটি সম্পূর্ণ পাম্পিং সিস্টেম হিসাবে, ক্রিজনীয় পাম্প দুটি অংশ গঠিত হয়, প্রধান শরীরটি ভ্যাকুয়াম পাম্প শরীর, এবং দ্বিতীয় অংশ সংকোচকারী। এখন ব্যাপকভাবে ক্রিজনিক পাম্প ফ্রিজ ব্যবহার করা হয়, তার কোর ক্রিজনীয় ফ্রিজ। নিম্নরূপ মৌলিক প্রবাহ হল: প্রথম, হিলিয়াম উচ্চ তাপমাত্রা এবং চাপ সংকুচিত হয়; তারপর রুম তাপমাত্রা হিলিয়াম একটি তাপ এক্সচেঞ্জার দ্বারা ঠান্ডা হয়। বিশুদ্ধ উচ্চ বিশুদ্ধতা হিলিয়াম তারপর নিম্ন তাপমাত্রা হিলিয়াম হয়ে সিলিন্ডার মধ্যে সম্প্রসারিতভাবে প্রসারিত হয়। চক্র চলতে থাকে, হিলিয়ামটি ঠান্ডা হয় এবং ফ্রিজে পরিণত হয় মাঝারি - ক্রিজনীয় হিলিয়াম।
ক্রিজনজিক পাম্প বেছে নেওয়ার সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে:
(1) পরিষ্কার, তেল ছাড়া বিশুদ্ধ, পাম্পিং পরিসীমা বিস্তৃত, দ্রুত আদর্শ অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ প্রাপ্ত করতে পারেন;
(2) একই ব্যাসের অন্যান্য ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলির তুলনায়, ক্রিজনীয় পাম্পটিতে আরও বেশি পাম্পিং গতি রয়েছে, বিশেষত জল বাষ্প নিষ্কাশন করার ক্ষমতা;
(3) গ্যাস, অপবিত্রতা কণা পাম্প করা এবং সিস্টেম কাজ প্রভাবিত করে না কোন পছন্দ;
(4) কোন কোণে ইনস্টল করা যাবে, কোন চলন্ত অংশ, সামনে পাম্প প্রয়োজন, অপারেশন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ কম হয়;
সংকোচকারী জল স্ব-সুরক্ষা হতে পারে, বায়ুমন্ডলে এক্সপোজার সিস্টেমের উপর একটি ছোট প্রভাব আছে, তাই unattended বুঝতে পারেন।

ভ্যাকুয়াম সিস্টেম নকশা

ভ্যাকুয়াম চুল্লি জন্য ক্রিজনীয় পাম্প সিস্টেম নির্বাচন সবচেয়ে বড় সমস্যা তাপ লোড সমাধান করা হয়। ভ্যাকুয়াম চুল্লি মধ্যে তাপ লোড প্রধানত তিনটি দিক থেকে আসে:
(1) চুল্লি পাশ থেকে তাপ বিকিরণ;
(2) আঠালো প্রবাহ, গ্যাস অণু তাপ বহন;
(3) পাম্প মুখ পাইপ থেকে তাপ সঞ্চালন এবং বিকিরণ তাপ।

আণবিক প্রবাহ রাষ্ট্র Cryopump কাজ, তাপ উৎস ii উপেক্ষা করা যেতে পারে। তাপ উৎস () জল কুলিং গঠন যোগ করে নির্মূল করা যাবে। ক্রিজনীয় পাম্প উপর চুল্লি শরীর থেকে তাপ লোড প্রভাব নকশা বিবেচনা করা হয়। মাল্টিলেয়ার মেটাল প্রতিফলক পর্দা ভ্যাকুয়াম চুল্লি নির্বাচন করা হয়। ভ্যাকুয়াম চুল্লি তাপমাত্রা 1300 ℃ , সর্বোচ্চ মোট নকশা প্রতিফলিত পর্দা 6 স্তর, molybdenum ড্রেসিং পর্দা 3 স্তর, বাকি স্তর স্টেইনলেস স্টীল প্রতিফলক পর্দা নির্বাচিত। তাত্ত্বিকভাবে বিকিরণ তাপমাত্রা 200 ° ℃ মাধ্যমে ধারক প্রাচীর থেকে হিটার , তাপমাত্রা সময়ের সাথে ধীরে ধীরে বৃদ্ধি হবে। বেশিরভাগ ক্ষেত্রে, কম তাপমাত্রা পাম্প 90 ° কনুই অন্তর্ভুক্ত করতে পারে , যাতে এড়ানো এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারের মাধ্যমে, এটি পাম্পের তাপীয় লোডে আরও কমিয়ে আনা হয়, যা তাপ বিকিরণ হ্রাস করা সবচেয়ে সহজ এবং কার্যকর পদ্ধতি। আণবিক প্রবাহ অবস্থাতে, কনভেনশন গাইডে কনুইয়ের প্রভাব উপেক্ষা করা যেতে পারে, যা অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের জন্য বাজির চেয়ে বেশি কার্যকরী। ক্রোজেনিক পাম্পের তাপ সঞ্চালন ও বিকিরণ প্রভাব আরও কমাতে, কনুই পাইপের উপর একটি জল কুলিং কাঠামো তৈরি করা হয়েছিল। ভ্যাকুয়াম সিস্টেম গঠন চিত্র 1 দেখানো হয়।

বনমন্ত্রী ড। 1 ভ্যাকুয়াম সিস্টেম গঠন চিত্র

আদর্শ অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম প্রাপ্ত করার জন্য, এবং একই সাথে অলঙ্কৃত প্রযুক্তি ব্যবহার করার জন্য আমরা সমান্তরাল পাম ইউনিট এবং ক্রিজনীয় পাম্পের ভ্যাকুয়াম সিস্টেম ডিজাইন করেছি। আণবিক পাম্প ইউনিটটি সিস্টেমের প্রাক-পাম্পিং হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে, যাতে ক্রিজনজিক পাম্পটি কুল হয়ে গেলে এটি সরাসরি আণবিক প্রবাহের অবস্থায় কাজ করতে পারে।

উপরন্তু, যখন ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি প্রচুর পরিমাণে বায়ু থাকে তখন এটি বায়ু নিষ্কাশনের জন্য আণবিক পাম্পে সময়মত পরিবর্তন করা যেতে পারে, যা কেবল ক্রোজেনিক পাম্পের পাম্পিং স্যাচুরেশন সময়কে বাড়িয়ে তুলতে পারে না, তবে পুনরুত্থানের সময় সংরক্ষণ করতে পারে। আণবিক পাম্প এবং ক্রিজনীয় পাম্প বায়ুসংক্রান্ত অতি উচ্চ ভ্যাকুয়াম গেট ভালভ এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বার দ্বারা সংযুক্ত করা হয়। সিস্টেমটি তেল ছাড়াই পরিষ্কার হয় এবং ক্রিজনজিক পাম্পের পাম্পিং সুবিধাগুলির জন্য পুরো খেলাটি নিশ্চিত করার জন্য, বিশুদ্ধ তেল-মুক্ত চৌম্বকীয় তরলীকরণ আণবিক পাম্প নির্বাচন করা হয়, ভোর্টেক্স শুষ্ক পাম্পটি সামনে পাম্পের জন্য এবং শুষ্ক পাম্প এছাড়াও ক্রিজনীয় পাম্প পুনর্জন্ম সময় বায়ু নিষ্কাশন জন্য ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের পরিকল্পিত চিত্র চিত্র 2 দেখানো হয়।

বনমন্ত্রী ড। ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের 2 পরিকল্পিত ডায়াগ্রাম

যখন আণবিক পাম্প ইউনিট এবং সংকোচকারী একই সময়ে শুরু হয়, প্রায় 1২0 মিনিটের পরে ক্রিজনীয় পাম্পের সেকেন্ড কোল্ড হেড কক্ষ তাপমাত্রা থেকে কমপক্ষে 15 কেটে যায় (ক্রিজনীয় পাম্প ভালভ দরজা খোলা যায়)। এই সময়ে, ভ্যাকুয়াম চুল্লি সিস্টেমের ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী 10-5pa পৌঁছাতে পারে, যাতে ক্রিজনজিক পাম্প সরাসরি উচ্চ ভ্যাকুয়াম থেকে শুরু হতে পারে।

ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের টেবিল 1 প্রধান কনফিগারেশন সিদ্ধান্ত

যন্ত্রের এই সেট মাঝারি আকারের ভ্যাকুয়াম চুল্লির একটি সাধারণ সেট, যা অতি উচ্চ-ভ্যাকুয়ামের অবস্থার অধীনে প্রসারণ ঢালাই প্রক্রিয়াতে প্রয়োগ করা হয়। তাপমাত্রা এবং পৃষ্ঠের এলাকাগুলি হ'ল উচ্চমাত্রার অটোমেশন সহ একই স্পেসিফিকেশনের তাপ চিকিত্সা চুল্লির চেয়ে বড়। ক্রিজনীয় পাম্প কনফিগারেশন তার অসাধারণ সুবিধার পূর্ণ খেলা দিতে পারেন। ভ্যাকুয়াম চুল্লির চূড়ান্ত পরীক্ষার চাপ ২ 10-7 পাউন্ড (ঠান্ডা এবং খালি) এবং চাপ বৃদ্ধির হার 0.00২ পা / ঘন্টা। সূচক সাধারণ উচ্চ ভ্যাকুয়াম চুল্লি চেয়ে ভাল। বর্তমানে, গার্হস্থ্য ক্রিজনিক পাম্পের প্রয়োগটি বেশিরভাগ আমদানির উপর নির্ভরশীল এবং একই পরিমাণের অন্যান্য পাম্পের দামও অপেক্ষাকৃত ব্যয়বহুল। যাইহোক, এটি এখনও উচ্চ পরিচ্ছন্ন প্রক্রিয়া পরিবেশ, বিশুদ্ধ তেল মুক্ত ভ্যাকুয়াম এবং অতি উচ্চ ভ্যাকুয়ামের ক্ষেত্রে প্রচুর সুবিধা রয়েছে এবং ক্রয়জনিত পাম্প পরিষেবা খরচ এবং পরিষেবা জীবনের পরিপ্রেক্ষিতে অন্যান্য পাম্পের চেয়ে খারাপ নয়। গার্হস্থ্য ক্রিজনিক পাম্প গবেষণা এবং উন্নয়ন এখনও পরিপক্ক হতে হবে, বিশেষ করে সংকোচকারী প্রযুক্তি, গার্হস্থ্য পরিচ্ছন্ন ভ্যাকুয়াম পাম্প শিল্পের উত্থানের জন্য উন্মুখ।